光刻

第六代双光束超分辨光刻机概念、技术和未来

集成电路的发展至今已有60余年,对更为强大性能芯片的追求使得芯片制造技术不断迭代升级。长期以来,基于紫外光源投影曝光光刻的芯片制造方法是大规模集成电路制造的唯一选择。然而,随着极紫外光刻机进入产线应用和不断性能优化,芯片制造已经进入了7nm及以下节点。对于摩尔

概念 光刻 光刻机 双光束 光刻机概念 2025-05-29 21:30  11

又一家公司,想颠覆EUV光刻

由ASML打造的EUV光刻机是现代芯片不可或缺的重要生产工具。尤其是随着芯片工艺来到了3nm之后,EUV光刻的重要性与日俱增。ASML也通过提高NA的方式,引领EUV光刻机进入到High NA时代,以满足客户更严苛的需求。

asml 光刻 euv euv光刻 立体角 2025-05-28 10:34  11

光刻基础——干法刻蚀

干法刻蚀技术作为半导体制造的核心工艺模块,通过等离子体与材料表面的相互作用实现精准刻蚀,其技术特性与工艺优势深刻影响着先进制程的演进方向,本文分述如下:

光刻 等离子体 刻蚀 侧壁 rie 2025-05-26 10:00  11

晶圆翘曲对光刻工艺的影响及多维度控制策略

随着芯片制程不断缩小,光刻对晶圆平整度要求达到纳米级,而内部应力失衡或材料热膨胀系数失配引发的翘曲,会导致光刻对准失效、图形畸变等问题。今天我们将深入剖析晶圆翘曲在光刻工艺中的作用机制,系统阐述材料、工艺与检测等方面的控制策略,并结合实际案例,探索突破这一技术

策略 光刻 晶圆 工艺 光刻工艺 2025-05-15 11:41  14

1400台光刻机背后,ASML在怕什么?中国芯片绝地反击,谁输谁赢?

2025年5月7日晚上7点,我刚扒完最后一口外卖,手机突然被ASML的财报弹窗轰炸——「累计向中国交付超1400台光刻机」。嚯!这数字看得我筷子都掉了。要知道三年前老美刚逼着ASML签过「对华限售令」,现在他们却自曝家底,这操作比《甄嬛传》里的宫斗还刺激。

芯片 asml 光刻 光刻机 范登布林克 2025-05-07 19:32  9

东方晶源启动HPO2.0产品规划与研发

在半导体制造的早期阶段,芯片制造主要遵循从电路设计到生产制造的单向线性流程。各个关键步骤间的信息传递和交接方法相对简单直接。例如,物理设计、掩膜合成、掩膜板写入、光刻优化、工艺优化、检测与量测以及最终对封装芯片进行测试等各个环节相对独立,信息交流非常有限,数据

光刻 规划 掩膜 dfm hpo 2025-04-28 08:03  12

《光刻之下》(一)

苏弥的防护服内衬已被冷汗浸透。她盯着电子显微镜的成像屏——那片本应完美如蜂巢的3nm芯片沟槽中,一道锯齿状暗纹正随电子束扫描微微颤动,像毒蛇吐信。“第七次重复实验,Z轴偏移量0.32埃。”量子探针的机械臂在真空腔体内无声移动,纳米级钨针尖刺入沟槽时激起一串数据

光刻 程野 清源 光刻之下 陈谨 2025-04-12 09:03  10

104%关税+37天倒计时,中国芯片如何破局?

2025年4月10日,中国海关总署官网悄然更新一则关税调整公告。这则看似普通的技术性通知,却在全球半导体产业引发剧烈震动——美国对华芯片产品的关税税率从75%骤增至104%。就在公告发布的同一时刻,深圳龙华区某晶圆厂的无尘车间内,工程师们正对首台全国产28nm

芯片 半导体 光刻 关税 中芯国际 2025-04-11 20:03  13